恭喜信越化学工业株式会社星野成大获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利多晶硅棒获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110550634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910431751.1,技术领域涉及:C01B33/035;该发明授权多晶硅棒是由星野成大;祢津茂义;冈田哲郎;石田昌彦设计研发完成,并于2019-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本多晶硅棒在说明书摘要公布了:本发明提供适合作为单晶硅制造用原料的多晶硅棒。从由西门子法培育出的多晶硅棒中采集晶片评价试样,筛选出粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3%以上的多晶硅棒作为单晶硅制造用原料。使用这种多晶硅棒作为原料并通过FZ法来培育单晶硅时,可显著抑制位错的发生。
本发明授权多晶硅棒在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅棒的筛选方法,其是筛选出通过西门子法培育出的多晶硅棒作为单晶硅制造用原料的筛选方法,其特征在于,为了将在从除硅芯线部分以外的区域采集晶片并进行评价的情况下粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3%以上的多晶硅棒作为单晶硅制造用原料使用而进行筛选。
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