威孚(苏州)半导体技术有限公司何翔获国家专利权
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龙图腾网获悉威孚(苏州)半导体技术有限公司申请的专利寻边器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953034U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421476739.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型寻边器是由何翔;李少琦设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本寻边器在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种寻边器，用于晶圆寻边，寻边器包括箱体和设置在箱体的旋转机构、定位机构和边缘识别装置，其中旋转机构用于承载晶圆，并可利用定位机构自动调整吸附平台的位置，确保晶圆与边缘识别装置的位置精确对应，并实现圆心矫正。该寻边器通过第二驱动组件和第三驱动组件的协同工作，能够沿纵向和横向自动调整晶圆的位置，并配合第一驱动组件实现晶圆的圆心矫正。这种自动化的调整方式不仅提高了寻边器的寻边效率和精确性，还避免了手动碰触晶圆造成晶圆损伤的风险。
本实用新型寻边器在权利要求书中公布了：1.一种寻边器，用于晶圆寻边，其特征在于，所述寻边器包括：箱体，包括顶板和底板，所述顶板和所述底板之间限定形成有腔体，所述顶板上开设有通道；旋转机构，包括位于所述顶板上方的吸附平台、设置在所述腔体内的第一驱动组件、以及由所述第一驱动组件驱动旋转的旋转杆，所述旋转杆穿设于所述通道，且上端安设有所述吸附平台；定位机构，设置于所述腔体内，所述定位机构包括第二驱动组件和第三驱动组件，所述第二驱动组件与所述旋转机构传动连接，用于驱动所述旋转机构沿纵向移动，所述第三驱动组件安装在所述底板上，且与所述第二驱动组件传动连接，用于驱动所述第二驱动组件及所述旋转机构沿横向移动；以及，边缘识别装置，设置于所述箱体，所述边缘识别装置用于识别所述吸附平台所承载的晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人威孚(苏州)半导体技术有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城)友谊村10、12组；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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