威孚(苏州)半导体技术有限公司何翔获国家专利权
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龙图腾网获悉威孚(苏州)半导体技术有限公司申请的专利晶圆传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421479086.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆传输设备是由何翔;李少琦设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆传输设备，包括：料架，包括至少一个承载晶圆盒的台体；定位结构，设置在所述台体上，且适于在第一水平方向和垂直于所述第一水平方向的第二水平方向定位所述晶圆盒；抵压机构，包括设置在所述台体上的桁架、与所述桁架固定连接的基座、与所述基座转动连接的翻转组件和与所述翻转组件螺纹连接的至少一个抵压螺栓，所述翻转组件适于朝着所述晶圆盒的方向翻转至抵紧状态，以使所述抵压螺栓抵紧所述晶圆盒的顶面；其中，当所述翻转组件处于所述抵紧状态时，所述抵压螺栓的轴向与竖直方向一致。本实用新型采用上述结构，能够提高晶圆盒在竖直方向上的可靠性，且通用性高。
本实用新型晶圆传输设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输设备，其特征在于，包括：料架100，包括至少一个承载晶圆盒200的台体110；定位结构300，设置在所述台体110上，且适于在第一水平方向和垂直于所述第一水平方向的第二水平方向定位所述晶圆盒200；抵压机构400，包括设置在所述台体110上的桁架410、与所述桁架410固定连接的基座420、与所述基座420转动连接的翻转组件430和与所述翻转组件430螺纹连接的至少一个抵压螺栓440，所述翻转组件430适于朝着所述晶圆盒200的方向翻转至抵紧状态，以使所述抵压螺栓440抵紧所述晶圆盒200的顶面；其中，当所述翻转组件430处于所述抵紧状态时，所述抵压螺栓440的轴向与竖直方向一致。
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