苏州烯晶半导体科技有限公司刘畅获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州烯晶半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆定位夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222953069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421327647.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆定位夹具是由刘畅设计研发完成,并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位夹具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及夹具领域,尤其涉及一种晶圆定位夹具。用于夹持物料,包括第一夹持体,一侧通过夹持装置活动连接有第二夹持体;所述夹持装置包括锁紧件,所述锁紧件贯穿第一夹持体并与第二夹持体连接,所述锁紧件两侧沿第一夹持体和第二夹持体相对运动方向设置有导向件;所述第一夹持体和第二夹持体靠近物料且垂直于第二夹持体运动方向的一端被构造为夹持端,所述第一夹持体和或第二夹持体于夹持端设置有限位部,所述限位部用于与物料卡接,被卡接的物料在限位部的作用下以预设的角度置于夹持端中。本申请在夹持端中设置有限位件,限位件与晶圆载具上预留的缺口或者平面抵接,使得晶圆能够以预设的角度被夹持。
本实用新型一种晶圆定位夹具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆定位夹具,用于夹持物料,其特征在于,包括第一夹持体,一侧通过夹持装置活动连接有第二夹持体;所述夹持装置包括锁紧件,所述锁紧件贯穿第一夹持体并与第二夹持体连接,所述锁紧件两侧沿第一夹持体和第二夹持体相对运动方向设置有导向件;所述第一夹持体和第二夹持体靠近物料且垂直于第二夹持体运动方向的一端被构造为夹持端,所述第一夹持体和或第二夹持体于夹持端设置有限位部,所述限位部用于与物料卡接,被卡接的物料在限位部的作用下以预设的角度置于夹持端中。
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