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南通国尚精密机械有限公司尤红权获国家专利权

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龙图腾网获悉南通国尚精密机械有限公司申请的专利一种晶圆清洗烘干装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222944081U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421245109.7,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种晶圆清洗烘干装置是由尤红权;邓光伟;朱志松;陈磊设计研发完成,并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆清洗烘干装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆清洗烘干装置,包括底座,所述底座上设置清洗机构和烘干机构,所述清洗机构包括清洗槽,所述清洗槽的侧壁设置超声波换能器,所述超声波换能器外接超声波发生器,所述清洗槽的开口设置转轴,所述转轴一段延伸至清洗槽外部,且设置从动轮,所述底座上还设置电机,所述电机的输出轴上设置主动轮,所述主动轮与从动轮之间采用皮带进行传动连接,所述转轴上固定设置多个轴套,所述轴套上设置多个连杆,所述连杆的顶部设置载具。本实用新型通过设置清洗机构和烘干机构,两者相互结合,一物两用,提高加工效率和降低设备成本。

本实用新型一种晶圆清洗烘干装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆清洗烘干装置,包括底座,所述底座上设置清洗机构和烘干机构,其特征在于:所述清洗机构包括清洗槽,所述清洗槽的侧壁设置超声波换能器,所述超声波换能器外接超声波发生器,所述清洗槽的开口设置转轴,所述转轴一段延伸至清洗槽外部,且设置从动轮,所述底座上还设置电机,所述电机的输出轴上设置主动轮,所述主动轮与从动轮之间采用皮带进行传动连接,所述转轴上固定设置多个轴套,所述轴套上设置多个连杆,所述连杆的顶部设置载具;所述烘干机构包括位于底座上的工作台,所述工作台表面与清洗槽上表面齐平,且两者之间设置滑轨,所述滑轨上滑动设置烘箱,所述烘箱开口朝下,且顶部设置多个热风机,所述热风机的通风管延伸至烘箱内部,所述烘箱的侧面开设进出口,且进出口上铰接设置箱门。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南通国尚精密机械有限公司,其通讯地址为:226017 江苏省南通市清枫路1号内3幢清枫创业园标准厂房D3幢B区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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