宇弘研科技(苏州)有限公司安礼余获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于晶圆加热的高精度热板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953032U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421204323.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于晶圆加热的高精度热板是由安礼余;刘翊设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆加热的高精度热板在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于晶圆加热的高精度热板，该热板包括基板、PID温度调节模块、冷却模块和多组热电偶温度传感器。该基板朝向晶圆的一面设置有多个晶圆支撑销，基板另一面设置有绝缘层。PID温度调节模块，设置有加热元件和用于对所述加热元件进行供电的供电端子，所述加热元件分三个区域设置在所述绝缘层上，所述供电端子设置在所述加热元件上。该多组热电偶温度传感器，用于测量热板各点温度，多组热电偶温度传感器沿基板另一面中心至边缘位置均匀分布。该PID温度调节模块设置成根据热电偶温度传感器检测的热板各点温度对热板温度进行区域调节来降低热板的温度波动度以使热板温度均匀。该冷却模块设置在基板上，用于在热板加热完成后对热板进行冷却。
本实用新型一种用于晶圆加热的高精度热板在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加热的高精度热板，其特征在于，包括：基板，所述基板朝向晶圆的一面设置有多个晶圆支撑销，所述基板另一面设置有绝缘层；PID温度调节模块，设置有加热元件和用于对所述加热元件进行供电的供电端子，所述加热元件分三个区域设置在所述绝缘层上，所述供电端子设置在所述加热元件上；多组热电偶温度传感器，用于测量热板各点温度，多组所述热电偶温度传感器沿所述基板另一面中心至边缘位置均匀分布，一组所述热电偶温度传感器由多个所述热电偶温度传感器组成，同一组内的多个所述热电偶温度传感器沿所述基板周向均匀分布；所述PID温度调节模块设置成根据所述热电偶温度传感器检测的热板各点温度对热板温度进行区域调节来降低热板的温度波动度以使热板温度均匀；冷却模块，设置在所述基板上，用于在热板加热完成后对热板进行冷却。
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