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龙图腾网获悉深圳稳顶聚芯技术有限公司申请的专利对准装置及对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118448324B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410371274.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权对准装置及对准方法是由陈海霞;孙思白;谭信辉设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置及对准方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种对准装置及对准方法，涉及对准技术领域。在本申请中，照明系统用于发出光；透镜组件用于透过光；图像接收件用于对透过透镜组件的光进行接收；第一标记板用于对照明系统所发出的光进行透过并透射至透镜组件；第二标记板用于对透过透镜组件的光进行透过并透射至图像接收件；图像接收件配置为基于光形成用于确定第一标记板和第二标记板的相对位置的莫尔斑图案。本申请利用Delone集合的离散均匀性和相对密集性来对两个标记板上的阳文图案、阴文图案进行限制，在位移信息识别的过程中，非周期均匀离散的二维分布使得空间拍频仅形成唯一的大斑点，且其他区域在模糊情况下分布均匀，保障了结果的唯一性。

本发明授权对准装置及对准方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，包括：照明系统，用于发出光；透镜组件，用于透过所述光；图像接收件，用于对透过所述透镜组件的光进行接收；第一标记板，位于所述透镜组件的物面，用于对所述照明系统所发出的所述光进行透过并透射至所述透镜组件，所述第一标记板上设置有阳文图案，以对所述光进行衍射，所述第一标记板配置为在所述透镜组件的像面上成像；第二标记板，位于所述透镜组件的像面上，用于对透过所述透镜组件的光进行透过并透射至所述图像接收件；所述图像接收件配置为基于所述光形成用于确定所述第一标记板和所述第二标记板的相对位置的莫尔斑图案，所述第二标记板上设置有阴文图案；其中，所述阳文图案包括间隔设置的多个第一图形单元，所述多个第一图形单元中每一个图形单元的标记点形成的第一点集合为Delone集合，所述阴文图案包括间隔设置的多个第二图形单元，所述多个第二图形单元中每一个图形单元的标记点形成的第二点集合为Delone集合；当所述阳文图案放大m倍后且旋转180°时的所述第一点集合覆盖所述阴文图案的所述第二点集合，或当所述阳文图案放大m倍后的所述第一点集合覆盖所述阴文图案的所述第二点集合；m＞0；所述第一标记板用于固定在第一对准件上，所述第二标记板用于固定在第二对准件上，所述图像接收件配置为基于所述光形成用于确定所述第一对准件和所述第二对准件的相对位置的莫尔斑图案。

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