苏州浦丰鑫电子科技有限公司周伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州浦丰鑫电子科技有限公司申请的专利一种晶圆分选装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222953031U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420038360.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆分选装置是由周伟设计研发完成,并于2024-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆分选装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆分选装置,包括外壳,所述外壳内侧底端固定连接设有清洁箱,所述清洁箱一侧内壁贯穿连接设有进液管道,所述进液管道另一端设有清洗液箱,所述清洗液箱固定连接于外壳内侧底端,所述外壳内侧底端固定连接设有合格品收集箱,所述外壳内侧底端远离合格品收集箱一侧固定连接设有不合格品收集箱,所述合格品收集箱与不合格品收集箱外侧固定连接设有检测组件,所述检测组件固定连接于外壳内侧底端。本实用新型与现有的技术相比的优点在于:提供一种可以对晶圆进行清洗的一种晶圆分选装置。
本实用新型一种晶圆分选装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆分选装置,包括外壳1,其特征在于:所述外壳1内侧底端固定连接设有清洁箱2,所述清洁箱2一侧内壁贯穿连接设有进液管道3,所述进液管道3另一端设有清洗液箱4,所述清洗液箱4固定连接于外壳1内侧底端,所述外壳1内侧底端固定连接设有合格品收集箱5,所述外壳1内侧底端远离合格品收集箱5一侧固定连接设有不合格品收集箱6,所述合格品收集箱5与不合格品收集箱6外侧固定连接设有检测组件7,所述检测组件7固定连接于外壳1内侧底端。
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