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龙图腾网获悉北京航空航天大学;兰州空间技术物理研究所申请的专利一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117019767B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310886668.X，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法是由王伟宗;董宜承;孔维一;王海波;韩明月;李兴达设计研发完成，并于2023-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法，系统由气体分配器、电势控制线、射频线圈、电离室、屏栅、加速栅、正直流电压源、射频电源、负直流电压源及导电胶带组成。方法包括：一、射频离子推力器启动，电离室内形成等离子体；二、给屏栅施加正电压，离子被栅极系统引出，推力器进入工作状态；三、当导电薄膜较厚、功率馈入削弱时，关闭正直流电源，推力器无离子引出；四、打开负直流电源，向电势控制线缓慢施加负电压离子撞击电离室内壁面的能量增加；五、电离室内壁面的导电薄膜在离子的轰击下，溅射出粒子，粒子呈中性，在中性粒子流的作用下被排出电离室外，实现电离室内壁面的清洗。

本发明授权一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统，其特征在于：由气体分配器、电势控制线、射频线圈、电离室、屏栅、加速栅、正直流电压源、射频电源、负直流电压源及导电胶带组成；其中，气体分配器呈“T”形，其上有螺纹，与电离室通过螺栓结构连接；电势控制线为柔性导线，穿过气体分配器螺纹面，经过气体分配器内部进入电离室，通过导电胶带与电离室内壁面连接；屏栅、加速栅与电离室同轴心，两者通过定位销定位；正直流电压源、射频电源、负直流电压源为外电路组件；正直流电压源与屏栅和加速栅连接；负直流电压源与电势控制线连接，电势控制线连接0-60V负直流电压，用于改变电离室内壁面导电薄膜的电势；清洗步骤为：步骤一：射频离子推力器启动，电离室内形成等离子体，此时电离室壁面无导电薄膜；步骤二：给屏栅施加正电压，离子被栅极系统引出，推力器进入工作状态；步骤三：当导电薄膜较厚、功率馈入削弱时，关闭正直流电源，推力器无离子引出，但电离室内等离子体依然维持；步骤四：打开负直流电源，向电势控制线缓慢施加负电压，离子撞击电离室内壁面的能量增加；步骤五：电离室内壁面的导电薄膜在离子的轰击下，溅射出粒子，粒子呈中性，在中性粒子流的作用下被排出电离室外，实现电离室内壁面的清洗。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京航空航天大学;兰州空间技术物理研究所，其通讯地址为：100191 北京市海淀区学院路37号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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