东莞触点智能装备有限公司陈树斌获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞触点智能装备有限公司申请的专利一种多段式顶升结构及固晶设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115954317B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310114490.7,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种多段式顶升结构及固晶设备是由陈树斌;张勇设计研发完成,并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多段式顶升结构及固晶设备在说明书摘要公布了:本发明提供的多段式顶升结构及固晶设备,其在进行晶片与底膜的分离工序时,通过升降单元带动末端顶升组件与第一顶升组件沿第一方向穿过第一顶升避让口,在末端顶升组件和第一顶升组件同步地沿第一方向移动第一距离后,第一顶升组件被第一限位部阻挡,使得第一弹簧单元进入压缩状态,此时升降单元继续带动末端顶升组件沿第一方向穿过第一顶升避让口,而第一顶升组件被阻挡,使得末端顶升组件相对于第一顶升组件上升,从而完成晶片与底膜的分离;对于晶片而言,其与底膜的分离包括至少两阶段,在第一顶升组件与末端顶升组件同时上升时,由于此时多段式顶升结构与底膜的接触面积较大,晶片边缘至顶升结构的间距较小,令晶片不易破裂。
本发明授权一种多段式顶升结构及固晶设备在权利要求书中公布了:1.一种多段式顶升结构,其特征在于,包括外壳10和升降单元50,所述外壳10上沿第一方向设置有第一顶升避让口11,所述外壳10内形成有与所述第一顶升避让口11连通的第一顶升腔体12,所述第一顶升腔体12的腔壁上凸设有第一限位部13;所述升降单元50的升降端安装有末端顶升组件40,所述末端顶升组件40沿所述第一方向延伸至所述第一顶升腔体12内,且能被所述升降单元50带动以穿过所述第一顶升避让口11;所述末端顶升组件40外套设有第一顶升组件20,所述第一顶升组件20与所述末端顶升组件40之间设置有第一弹簧单元61;沿所述第一方向,所述第一弹簧单元61的一端与所述末端顶升组件40抵接,所述第一弹簧单元61的另一端与所述第一顶升组件20抵接;其中,当所述末端顶升组件40沿所述第一方向移动第一距离后,所述第一顶升组件20与所述第一限位部13抵接,所述第一弹簧单元61处于压缩状态;所述第一顶升组件20沿第一方向设置有第二顶升避让口21,所述第一顶升组件20内形成有与所述第二顶升避让口21连通的第二顶升腔体22,且所述第一顶升组件20上还设置有第二限位部23;所述末端顶升组件40外还套设有第二顶升组件30,所述第二顶升组件30位于所述第二顶升腔体22内,且所述第二顶升组件30能沿所述第一方向于所述第二顶升腔体22内滑动;所述第二顶升组件30与所述末端顶升组件40之间设置有第二弹簧单元62;沿所述第一方向,所述第二弹簧单元62的一端与所述末端顶升组件40抵接,所述第二弹簧单元62的另一端与所述第二顶升组件30抵接;其中,当所述第二顶升组件30沿所述第一方向移动第二距离后,所述第二顶升组件30与所述第二限位部23抵接,所述第二弹簧单元62处于压缩状态。
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