苏州微光电子融合技术研究院有限公司张赞获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州微光电子融合技术研究院有限公司申请的专利一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116295830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211684608.1，技术领域涉及：G01J3/28；该发明授权一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法是由张赞设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法，采用可调的硅光滤波器作为光谱芯片的滤波单元，利用硅光滤波器的响应可调特点，通过外部的控制信号，基于单个滤波器，可对待测光进行多次调制，因此能够获得一组调制后的光响应，待测光谱信息编码到芯片上集成的光电探测器的输出中，结合算法完成对待测光谱的重构。
本发明授权一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硅光子光谱检测芯片，包括：SOI衬底，光学输入接口，滤波器以及光电探测器，其特征在于：待测光通过所述光学输入接口耦合进入芯片，传输至所述滤波器，所述滤波器在外部信号控制下，对待测光经行若干次不同的调制，并通过所述光电探测器转换为电信号输出；基于若干次调制后输出的电信号，结合算法处理完成重构后能够得到原始光谱信息；所述硅光滤波器为波导型响应可调硅光滤波器，由马赫曾德干涉仪、微环谐振腔、热光调节电极组成；两个微环谐振器相互耦合，并分别与马赫曾德干涉仪的一干涉臂相耦合，外部控制信号通过热光调节电极改变马赫曾德干涉仪和微环谐振器的相位，完成对滤波器响应的调节，实现对待测光的不同的调制。
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