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龙图腾网获悉江苏阀邦半导体材料科技有限公司申请的专利一种半导体快速模块化表面安装端接阀门获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115638275B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211315592.7，技术领域涉及：F16K17/06；该发明授权一种半导体快速模块化表面安装端接阀门是由王汉清设计研发完成，并于2022-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体快速模块化表面安装端接阀门在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体快速模块化表面安装端接阀门，包括：压力调节盖、上阀体、下阀体、脚座，所述脚座与下阀体一体设计，上阀体与下阀体螺纹连接，下阀体内开设有开放式内腔、进气腔道和出气腔道，进气腔道和出气腔道均与开放式内腔相通，出气腔道内设有顶针组件，进气腔道和出气腔道贯穿脚座；顶针组件包含顶针和密封锥，顶针中部表面设有螺纹，顶针滑动套设密封锥，密封锥与出气腔道的瓶颈契合，上阀体的开放式内腔内设有膜片组件，膜片组件上方设有弹性压力调节组件，膜片组件与弹性压力调节组件抵连。本发明减少气体流动行程，气道无弹簧无螺纹设计，粉尘污染可能性达到最低达到高洁净及高灵敏的半导体设备用阀要求。

本发明授权一种半导体快速模块化表面安装端接阀门在权利要求书中公布了：1.一种半导体快速模块化表面安装端接阀门，包括：压力调节盖（1）、上阀体（2）、下阀体（3）、脚座（4），所述脚座（4）与下阀体（3）一体设计，上阀体（2）与下阀体（3）螺纹连接，上阀体（2）与压力调节盖（1）转动连接；其特征在于：下阀体（3）内开设有开放式内腔、进气腔道（17）和出气腔道（18），进气腔道（17）和出气腔道（18）均与开放式内腔相通，出气腔道（18）位于下阀体（3）的中轴线上，出气腔道（18）与开放式内腔的连通处瓶颈状设计，出气腔道（18）内设有顶针组件，进气腔道（17）和出气腔道（18）贯穿脚座（4）；顶针组件包含顶针（16）和密封锥（19），顶针（16）中部表面设有螺纹，顶针（16）滑动套设密封锥（19），密封锥（19）位于顶针（16）的螺纹下方，密封锥（19）与出气腔道（18）的瓶颈契合，密封锥（19）的最大直径小于出气腔道（18）的内径；上阀体（2）的开放式内腔内设有膜片组件，膜片组件上方设有弹性压力调节组件，顶针组件与膜片组件固定连接，膜片组件与弹性压力调节组件抵连；所述膜片组件包含膜片组件固定杆（11）、膜片组件底座（13）、膜片组件安装座（14）和膜片固定件（15），膜片组件安装座（14）固定设置在下阀体（3）的开放式内腔内，膜片组件安装座（14）下表面内凹设计，使开放式内腔保留一部分空间与出气腔道（18）和进气腔道（17）相通，膜片组件安装座（14）中间贯穿式滑动连接膜片组件底座（13），膜片组件底座（13）下端边缘处设有卡边，与膜片组件安装座（14）卡扣，对膜片组件底座（13）滑动距离进行限位，膜片组件底座（13）上端一体设有膜片组件固定杆（11），膜片组件底座（13）下表面固定螺纹安装膜片固定件（15），膜片固定件（15）和膜片组件底座（13）之间夹有膜片（22）；所述顶针（16）与膜片固定件（15）螺纹连接，调节顶针（16）与膜片固定件（15）的相对位置，膜片组件、顶针组件、开放式内腔、进气腔道（17）和出气腔道（18）表面采用电抛光处理；所述弹性压力调节组件包含压力调节盖（1）、压力调节压杆（5）、压力传递片（7）、弹簧（9）、压圈（10）、波浪弹片（12）、垫片（20）和弹簧座（21），弹簧座（21）在上阀体（2）内上下滑动设置，弹簧座（21）外部套设波浪弹片（12），波浪弹片（12）下端抵住膜片组件安装座（14），波浪弹片（12）上端顶住弹簧座（21），弹簧座（21）中间螺纹连接膜片组件固定杆（11），膜片组件固定杆（11）贯穿弹簧座（21）上下两个面，用于调节膜片组件固定杆（11）和弹簧座（21）相对位置，弹簧座（21）上端抵连压圈（10），压圈（10）套设在膜片组件固定杆（11）上端，压圈（10）上表面设有垫片（20），垫片（20）上表面抵连弹簧（9），弹簧（9）上端插接压力传递片（7），压力传递片（7）上表面抵连压力调节压杆（5），压力调节压杆（5）上端与压力调节盖（1）固定连接，压力调节压杆（5）下端与压力传递片（7）连接处一体设有圆形压头（8），压力传递片（7）上表面开设有槽。

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