深圳新声半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利声表面波SAW滤波器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116032245B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211285619.2,技术领域涉及:H03H9/64;该发明授权声表面波SAW滤波器及其制造方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波SAW滤波器及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种声表面波SAW滤波器,包括:底部基板;设置在底部基板上方的压电层,且压电层具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;设置在压电层下方的空腔;设置在压电层的底面的第一叉指换能器IDT,以及设置在压电层的顶表面的第二IDT;其中,第一IDT的叉指部分暴露在空腔中,第二IDT的叉指部分与第一IDT的叉指部分垂直对齐。本申请还提供一种SAW滤波器的制造方法。
本发明授权声表面波SAW滤波器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种声表面波SAW滤波器,其特征在于,包括:底部基板;压电层,设置在底部基板上方,具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;空腔,设置在压电层下方;第一叉指换能器IDT,设置在压电层的底面上,第一IDT的叉指部分暴露在空腔中;第二IDT,设置在压电层的顶面上,第二IDT的叉指部分与第一IDT的叉指部分垂直对齐,第一IDT和第二IDT均包括第一输入和输出端、第二输入和输出端和叉指部分,叉指部分包括耦合到第一输入和输出端的第一组电极指和耦合到第二输入和输出端的第二组电极指,第二组电极指与第一组电极指交错并平行;第一焊盘金属层,在第一IDT下方形成;其中,第一焊盘金属层的第一部分与第一IDT的第一输入和输出端电连接,第一焊盘金属层的第二部分与第一IDT的第二输入和输出端电连接;第一开口,在压电层中形成,并暴露第一IDT的第一输入和输出端;第二开口,在压电层中形成,并暴露第一IDT的第二输入和输出端;第二焊盘金属层,在压电层上形成;其中,第二焊盘金属层的第一部分经由第一开口与第一IDT的第一输入和输出端电连接,第二焊盘金属层的第二部分经由第二开口与第一IDT的第二输入和输出端电连接,第二焊盘金属层的第三部分与第二IDT的第一输入和输出端电连接,第二焊盘金属层的第四部分与第二IDT的第二输入和输出端电连接;第一介电层,设置在压电层和底部基板之间,覆盖压电层的底面、第一IDT的第一输入和输出端和第二输入和输出端,以及第一焊盘金属层的第一部分和第二部分;第二介电层,设置在第一介电层下方;第三介电层,设置在第二介电层下方,并包括向第一介电层突出的突出结构;其中,空腔被由第二介电层,以及第三介电层的突出结构构成的双壁边界结构包围。
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