广州碳思科技有限公司黄景诚获国家专利权
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龙图腾网获悉广州碳思科技有限公司申请的专利一种应力传感器及其制备方法、应力传感装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371859B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211004631.1,技术领域涉及:G01L1/22;该发明授权一种应力传感器及其制备方法、应力传感装置是由黄景诚;陆勇;劳科特;邓鸿贵;邝淼;陈国宁;甘裕丰;李松晖;陈泽钦设计研发完成,并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应力传感器及其制备方法、应力传感装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种应力传感器及其制备方法、应力传感装置,所述应力传感器在当上衬底或下衬底受到压力时,隧穿层的弹性绝缘突起结构发生形变,使得低方阻层与高方阻层的距离缩短而发生隧穿效应,产生隧穿电流,且隧穿电流的大小与压力的大小成正比。本发明通过在高方阻层和低方阻层之间填充隧穿层代替传统的垫片结构,从而大幅度降低应力传感器的厚度,降低最小应力触发阈值下限,提高传感器灵敏度,能够实现对微弱信号的提取并有效延长传感器的寿命。
本发明授权一种应力传感器及其制备方法、应力传感装置在权利要求书中公布了:1.一种应力传感器,其特征在于:包括第一检测电极、第二检测电极和应力感知器件;所述应力感知器件包括依次层叠的下衬底、高方阻层、隧穿层、低方阻层和上衬底,所述第一检测电极和所述第二检测电极分别连接所述高方阻层的两端;所述隧穿层包括多个弹性绝缘突起结构,当存在作用于所述应力感知器件的外界压力时,所述突起结构发生形变,使得所述高方阻层和低方阻层之间距离减小,同时使所述第一检测电极和所述第二检测电极之间的电阻值减小;所述隧穿层还包括岛状结构,所述岛状结构由金属材料制成,并填充于所述突起结构位于所述低方阻层的一侧之间的缝隙。
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