常州大学;扬州大学丁建宁获国家专利权
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龙图腾网获悉常州大学;扬州大学申请的专利一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210976245.2，技术领域涉及：H10K71/16；该发明授权一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法是由丁建宁;丁鑫;袁宁一;王书博;李绿洲;董旭设计研发完成，并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于太阳电池技术领域，尤其涉及一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法，该设备包括主真空室、内嵌真空室和真空泵，主真空室内设置若干用于承载并蒸发铅盐的高温蒸发源，内嵌真空室设置在主真空室内，内嵌真空室的底部设置有用于将主真空室和内嵌真空室隔离或连通的快门结构，快门结构位于高温蒸发源上方，内嵌真空室内设置有用于放置基片的基片架和用于对基片加热的加热器，本发明采用主真空室内嵌真空室的方法，利用快门隔离两个真空室，将钙钛矿薄膜沉积过程分成了若干个循环，实现了逐层沉积，克服了基于气相沉积的两步反应法无法精准制备厚钙钛矿薄膜的难题。
本发明授权一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备，其特征在于：该设备包括主真空室1、内嵌真空室2和真空泵4，主真空室1内设置若干用于承载并蒸发铅盐的高温蒸发源3，内嵌真空室2设置在主真空室1内，所述内嵌真空室2可对其整体加热的加热装置，内嵌真空室2的底部设置有用于将主真空室1和内嵌真空室2隔离或连通的快门结构6，快门结构6位于高温蒸发源3上方，内嵌真空室2内设置有用于放置基片的基片架9和用于对基片加热的加热器8，内嵌真空室2内部设置有若干用于承载并蒸发有机盐的低温蒸发源10，低温蒸发源10上缠绕有用于快速降温的管子12，管子12与外部输送冷媒介质的设备连通，内嵌真空室2与主真空室1均由抽气管路13与真空泵4相连，内嵌真空室2内部上设置有与外部气源连通的氮气接入口7。
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