上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利探测器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115092879B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210763636.6,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权探测器及其制造方法是由康晓旭;蒋宾设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本探测器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种探测器及其制造方法,该探测器包括:第一衬底,位于第一衬底上的金属反射层,所述金属反射层具有金属反射图案;位于金属反射层上的微桥单元结构;以及位于微桥单元结构外围的封装结构,所述封装结构包括第二衬底结构和与所述第二衬底结构发生键合的沟槽结构;所述沟槽结构包括形成沟槽的边墙和所述沟槽内部的多层金属结构,所述多层金属结构的高度低于所述沟槽的深度;第二衬底结构包括第二衬底和位于所述第二衬底的第一表面的多层金属结构,所述第二衬底的第一表面的多层金属结构与所述沟槽内部的多层金属结构相互键合。该探测器的产品性能和可靠性较高。
本发明授权探测器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种探测器,其特征在于,包括:第一衬底;位于所述第一衬底上的金属反射层,所述金属反射层具有金属反射图案;位于所述金属反射层上的微桥单元结构;以及位于所述微桥单元结构外围的封装结构,所述封装结构包括第二衬底结构和与所述第二衬底结构发生键合的沟槽结构,所述沟槽结构位于所述第一衬底上;所述沟槽结构包括形成沟槽的边墙和所述沟槽内部的多层金属结构,所述多层金属结构的高度低于所述沟槽的深度;所述第二衬底结构包括第二衬底和位于所述第二衬底的第一表面的多层金属结构,所述第二衬底的第一表面的多层金属结构与所述沟槽内部的多层金属结构相互键合。
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