睿励科学仪器(上海)有限公司李晓辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种读片装置和使用读片装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210539814.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种读片装置和使用读片装置的方法是由李晓辉;马麟设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种读片装置和使用读片装置的方法在说明书摘要公布了：本申请实施例的目的是提供一种读片装置。本申请实施例的读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源；其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息和指示灯；所述指示信息用于指示各个槽位，所述指示灯用于指示相应的槽位是否有晶圆；其中，所述激光传感装置用于感应晶圆的位置，并且所述激光传感设置在驱动装置上，从而跟随驱动装置一起沿着丝杠移动。本申请实施例具有以下优点：通过传感装置来识别晶盒内晶圆的位置，体积较小，便携易用；并且，根据本申请实施例的读片装置的底座高度可调节，从而可适用于多种规格的晶盒。
本发明授权一种读片装置和使用读片装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种读片装置，其特征在于，所述读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源；其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息、指示灯以及扫描窗口；所述指示信息为指示刻度，每个指示刻度分别对应于一个指示灯，指示灯亮起则表示相应指示刻度所指示的槽位有晶圆；其中，所述激光传感装置通过扫描窗口感应晶圆的位置，并且所述激光传感装置设置在驱动装置上，激光传感装置在驱动装置和丝杠的作用下在扫描窗口内上下移动来进行扫描并将扫描数据传输至控制装置；其中，所述底座的高度是可调整的；其中，所述控制装置基于所述扫描数据进行计算，得到相应的结果信息，所述结果信息用于指示晶盒内的晶圆的数量以及每个晶圆对应的槽位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿励科学仪器(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区华佗路68号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励