FEI公司J·克拉克获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI公司申请的专利用于背面平面视图薄片制备的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113406359B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110276123.8，技术领域涉及：G01Q30/20；该发明授权用于背面平面视图薄片制备的方法和系统是由J·克拉克;B·劳思;M·勒杜;C·巴格设计研发完成，并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于背面平面视图薄片制备的方法和系统在说明书摘要公布了：用于背面平面视图薄片制备的方法和系统。平面视图薄片的背面由从工件中提取的样品制备。所述样品包括多个器件层和衬底层。在去除覆盖末级器件层的所述衬底层的至少一部分以获得样品表面之后，利用电子束交替扫描与所述样品表面相关的感兴趣区域（ROI）并自发蚀刻所述感兴趣区域，直到所述ROI内的所述末级器件层暴露为止。在所述末级器件层暴露以获得所述平面视图薄片的所述背面之后，可从所述样品背面去除一个或多个器件层。
本发明授权用于背面平面视图薄片制备的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于使用带电粒子束处理包括至少衬底层和器件层的样品的方法，其包含：去除所述衬底层的至少一部分以获得样品表面；利用电子束扫描与所述样品表面相关的感兴趣区域ROI；使第一气体流向所述ROI以自发蚀刻经扫描的ROI；以及响应于所述器件层未暴露在所述ROI中，利用所述电子束来扫描经蚀刻的ROI。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人FEI公司，其通讯地址为：美国俄勒冈州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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