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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717388B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510199616.4，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质是由魏姣阳;叶伟;罗文澜;王晶辉;徐明睿设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质，光罩包括：主芯片图形区、内切割道区、外切割道区；多组第一套刻标记图形组，分别摆放于外切割道区上；多个测试元件图形，摆放于内切割道区上；多组对位标记图形组，摆放于内切割道区上；多组第二套刻标记图形组，摆放于内切割道区上；第一套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，第二套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，对位标记图形组包括多个对位标记图形，图形单元的类型及数量根据制程工艺需求进行设定。通过本发明提供的一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质，能够充分利用较小空间进行有效标记布置，提升整个设计的空间利用率。

本发明授权一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种光罩，其特征在于，包括：多个主芯片图形区，相邻两个所述主芯片图形区平行设置；内切割道区，形成于相邻两个所述主芯片图形区之间；外切割道区，形成于多个主芯片图形区的外围，所述外切割道区的形状为矩形；多组第一套刻标记图形组，分别摆放于所述外切割道区上，且位于所述矩形的四条边上；多个测试元件图形，摆放于所述内切割道区上；多组对位标记图形组，摆放于所述内切割道区上；以及多组第二套刻标记图形组，摆放于所述内切割道区上；其中，所述第一套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，所述第二套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，所述对位标记图形组包括多个对位标记图形，所述套刻标记图形、所述对位标记图形、所述测试元件图形为图形单元，所述图形单元的类型及数量根据制程工艺需求进行设定；所述内切割道区包括：第一内切割道区，用于摆放所述测试元件图形；以及第二内切割道区，用于摆放所述对位标记图形组与所述第二套刻标记图形组；其中，在所述第一内切割道区内摆放图形单元的优先级大于在所述第二内切割道区内摆放图形单元的优先级；在同一所述第二内切割道区上，多个所述对位标记图形组和或所述第二套刻标记图形组依次进行摆放；在所述第二内切割道区内剩余空间无法摆放所述对位标记图形组或所述第二套刻标记图形组时，部分对位标记图形组或部分第二套刻标记图形组摆放于所述第二内切割道区内剩余空间内，其他剩余对位标记图形组或其他剩余第二套刻标记图形组摆放于所述第一内切割道区的剩余空间内和或摆放于相邻两个所述测试元件图形之间。

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