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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119643681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510167987.4，技术领域涉及：G01N27/626；该发明授权一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法是由原伟亮;张印月;李浩;陈阳;李时璟设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法，属于半导体技术领域。至少包括以下步骤：提供一晶圆承载台，将待采集晶圆设置于所述晶圆承载台上；在所述晶圆上添加提取液，所述提取液中至少包含氢氟酸、硝酸、盐酸和超纯水；移动所述提取液至所述提取液覆盖晶圆待检测区域；收集所述提取液，并采用超纯水将其稀释5‑10倍；以及将稀释过的所述提取液送入感应耦合电浆质谱仪中，分析所述提取液中的贵金属含量。通过本发明提供的晶圆表面上贵金属含量的测试方法，能够对晶圆待检测区域上所有位置的贵金属进行采集，准确获取晶圆待检测区域上贵金属的含量。

本发明授权一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面上贵金属含量的测试方法，其特征在于，至少包括以下步骤：提供一晶圆承载台，将待采集晶圆设置于所述晶圆承载台上；在所述晶圆上添加提取液，所述提取液中至少包含氢氟酸、硝酸、盐酸和超纯水，在所述提取液中，所述超纯水的含量为56wt%-69wt%，所述氢氟酸的含量为5wt%-10wt%，所述硝酸的含量为13wt%-17wt%，所述盐酸的含量为13wt%-17wt%；移动所述提取液至所述提取液覆盖晶圆待检测区域，其中，通过移液枪反复释放和吸取所述提取液的方式，使所述提取液逐步覆盖所述晶圆待检测区域；收集所述提取液，并采用超纯水将其稀释5-10倍；以及将稀释过的所述提取液送入感应耦合电浆质谱仪中，分析所述提取液中的贵金属含量；其中，所述提取液逐步覆盖所述晶圆待检测区域，至少包括以下步骤：用移液枪添加所述提取液，并使所述提取液在所述晶圆待检测区域中的一个位置上停留预设时间；以及用移液枪吸取所述提取液，并利用气枪辅助所述移液枪吸取所述提取液，将吸取的所述提取液转移至所述晶圆待检测区域中的另一个位置上并停留预设时间；依据所述晶圆的面积，所述移液枪的提取液量按照2.0μLmm2-3.1μLmm2进行取液。

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