连城凯克斯科技有限公司高树良获国家专利权
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龙图腾网获悉连城凯克斯科技有限公司申请的专利一种超导磁体及磁控直拉单晶设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119332337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411626690.1,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种超导磁体及磁控直拉单晶设备是由高树良;刘陈亚;曹玉宝设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超导磁体及磁控直拉单晶设备在说明书摘要公布了:本发明属于半导体制造技术领域,具体的说是一种超导磁体及磁控直拉单晶设备,包括支撑安装组件,支撑安装组件包括支撑架板和支撑耳板,且支撑耳板固定安装在支撑架板的外侧,支撑架板的顶部安装超导磁体组件和旋转直拉组件,支撑架板的内部固定安装有直拉炉壳,直拉炉壳的内部安装有旋转坩埚组件,通过并且设置的热敏电阻实时捕捉液氦腔内温度的细微变化,当热敏电阻检测到温度升高导致阻值下降时,以补偿因温度变化可能引起的磁场波动,通过这一反馈机制,即使液氦腔内部的温度发生波动,磁场也能保持相对稳定,使晶体的成分更加均匀,减少晶体中的偏析效应。
本发明授权一种超导磁体及磁控直拉单晶设备在权利要求书中公布了:1.一种超导磁体及磁控直拉单晶设备,其特征在于:包括支撑安装组件,所述支撑安装组件包括支撑架板(19)和支撑耳板(20),且支撑耳板(20)固定安装在支撑架板(19)的外侧,所述支撑架板(19)的顶部安装超导磁体组件和旋转直拉组件,所述支撑架板(19)的内部固定安装有直拉炉壳(14),所述直拉炉壳(14)的内部安装有旋转坩埚组件,所述支撑架板(19)和支撑耳板(20)的底部固定安装有驱动组件,所述驱动组件用于驱动旋转直拉组件和旋转坩埚组件进行运作,所述驱动组件包括驱动电机(21),所述驱动电机(21)的输出端固定安装有主动齿轮(22),所述超导磁体组件包括中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3),所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)均位于直拉炉壳(14)的外侧,所述上隔热阻磁壳(2)固定安装在中心隔热阻磁壳(1)的顶部,且下隔热阻磁壳(3)固定安装在中心隔热阻磁壳(1)的底部,所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的外侧均固定安装有加液阀(4),所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的内部均开设有液氦腔(8),所述液氦腔(8)的内部均固定安装有超导芯(9),所述超导芯(9)的外侧均绕接有线圈(10),所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)内部绕接在超导芯(9)外侧的线圈(10)的圈数比为2:1:1;所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的内部固定安装有隔热通磁壳(32),且隔热通磁壳(32)与直拉炉壳(14)的外壁之间的距离为五厘米,所述下隔热阻磁壳(3)的底部固定安装有支撑弯折杆(31),所述支撑弯折杆(31)远离下隔热阻磁壳(3)的一端与支撑架板(19)的顶部固定连接;所述中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的外侧均固定安装有隔热连接块(5),三个隔热连接块(5)的内部均固定安装有热敏电阻(6),且热敏电阻(6)的测温部位于中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的内侧,三个所述隔热连接块(5)远离中心隔热阻磁壳(1)、上隔热阻磁壳(2)和下隔热阻磁壳(3)的一侧固定安装有接电架(7)。
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