青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司肖迪获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司申请的专利基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119229206B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411397014.1,技术领域涉及:G06V10/764;该发明授权基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理系统及方法是由肖迪;肖燕青;贾松松;宋百乐;姜健设计研发完成,并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理系统及方法,属于半导体处理领域,本发明获取清洗过程中的蓝宝石衬底表面污浊变化数据导入污浊清洗异常分析策略中进行污浊清洗异常分析,将获取得到的缺陷清洗异常分析结果和污浊清洗异常分析结果导入清洗水压分析模型中进行清洗水压的分析,根据分析得到的清洗水压进行清洗过程中的清洗水压数据的调节,通过图像处理手段对清洗蓝宝石表面的污浊和缺陷进行准确分辨,根据清洗过程中的缺陷变化数据和污浊清洗变化数据对清洗水压进行准确调节,在提高了清洗效率的同时减小了蓝宝石衬底在清洗过程中的损伤。
本发明授权基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理系统及方法在权利要求书中公布了:1.基于图像识别的蓝宝石衬底清洗数据处理方法,其特征在于,其包括以下具体步骤:获取清洗过程中的蓝宝石衬底的图像数据,同时获取清洗过程中的清洗水压数据,进行蓝宝石表面缺陷和污浊的区分;获取清洗过程中的蓝宝石衬底缺陷变化数据导入缺陷清洗异常分析策略中进行缺陷清洗异常分析;获取清洗过程中的蓝宝石衬底表面污浊变化数据导入污浊清洗异常分析策略中进行污浊清洗异常分析;将获取得到的缺陷清洗异常分析结果和污浊清洗异常分析结果导入清洗水压分析模型中进行清洗水压的分析;根据分析得到的清洗水压进行清洗过程中的清洗水压数据的调节;所述获取清洗过程中的蓝宝石衬底的图像数据,同时获取清洗过程中的清洗水压数据,进行蓝宝石表面缺陷和污浊的区分的具体步骤为:S11、获取清洗过程中的设定水压数据,实时获取清洗过程中的蓝宝石衬底的图像数据,导入图像处理软件中获取图像中各像素点的像素值数据,同时获取蓝宝石衬底的对应区域的平均像素值数据,获取图像中像素点的像素值与对应区域的平均像素值的差值绝对值大于等于差值阈值的像素点,设为异常像素点,设定像素值梯度,获取处于同一像素值梯度的异常像素点构成的轮廓,设为判断轮廓,获取若干个判断轮廓的轮廓数据和像素点像素值数据;S12、获取判断轮廓的轮廓数据和像素点像素值数据,同时获取历史分辨为缺陷和污浊的轮廓、平均像素点像素值数据代入判断值计算公式中计算判断轮廓的判断值,其中,判断值计算公式为:,其中,a为轮廓相似占比系数,c为括号中轮廓的面积,Si为历史缺陷和污浊的轮廓构成的集合中第i个轮廓,S为判断轮廓的轮廓,xi为历史缺陷和污浊的轮廓构成的集合中轮廓的平均像素值,x为判断轮廓的平均像素值数据;S13、获取最大判断值对应的历史缺陷和污浊的种类作为判断轮廓的种类,获取所有判断轮廓的种类数据,进行判断轮廓分类为缺陷和污浊。
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