安徽外延科技有限公司李琳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽外延科技有限公司申请的专利一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961517U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422157296.X,技术领域涉及:C23C14/28;该实用新型一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台是由李琳设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台,包括三维靶台结构,用于控制靶托结构的三维运行;靶托结构,包括靶托台、屏蔽罩、多个靶材和多个锥形靶托,靶托台可插拔地设置在三维靶台结构的端部,多个靶材沿周向间隔设置在靶托台的侧面上,多个锥形靶托一一对应地罩设在多个靶材的外周侧,屏蔽罩罩设在多个锥形靶托的外侧并与三维靶台结构的外侧面相连,屏蔽罩的侧面开设有激光通孔,激光通孔可与其中一个靶材的位置相对应;旋转馈通模块,设置在三维靶台结构的一端,用于驱动靶托结构切换靶体。本实用新型实现了双重防污,减少了靶之间的相互污染。
本实用新型一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台在权利要求书中公布了:1.一种多重防交叉污染脉冲激光沉积系统扫描靶台,其特征在于,包括:三维靶台结构1,用于控制靶托结构2的三维运行;靶托结构2,包括靶托台3、屏蔽罩4、多个靶材5和多个锥形靶托6,所述靶托台3可插拔地设置在所述三维靶台结构1的端部,多个所述靶材5沿周向间隔设置在所述靶托台3的侧面上,多个所述锥形靶托6一一对应地罩设在多个所述靶材5的外周侧,所述屏蔽罩4罩设在多个所述锥形靶托6的外侧并与所述三维靶台结构1的外侧面相连,所述屏蔽罩4的侧面开设有激光通孔7,所述激光通孔7可与其中一个所述靶材5的位置相对应;旋转馈通模块8,设置在所述三维靶台结构1的一端,用于驱动所述靶托结构2切换靶体。
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