上海子微智能科技有限公司谭新获国家专利权
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龙图腾网获悉上海子微智能科技有限公司申请的专利一种超高真空薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222961518U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422159609.5，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种超高真空薄膜沉积设备是由谭新设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种超高真空薄膜沉积设备包括工艺腔体，所述工艺腔体左端上部设置预抽真空室腔体，预抽真空室腔体下端装载预抽真空室分子泵，预抽真空室分子泵左端固定安装低真空规，工艺腔体右端固定安装低温泵，低温泵后端接装超高压超高真空计。本实用新型使用时，设计设备工艺腔体，将超高压样品台、样品膜厚探头、超高压电子枪以及对接口均采用金属密封，优化了薄膜沉积工艺和控制系统，使得设备系统极限真空度可达6.67×10‑10torr，从而获得制备的薄膜纯度高，均匀性、致密性好。
本实用新型一种超高真空薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种超高真空薄膜沉积设备，包括工艺腔体4，其特征在于，所述工艺腔体4左端上部设置预抽真空室腔体5，预抽真空室腔体5下端装载预抽真空室分子泵6，预抽真空室分子泵6左端固定安装低真空规7，工艺腔体4右端固定安装低温泵11，低温泵11后端接装超高压超高真空计16；所述工艺腔体4上端固定安装腔体上门升降机构15，腔体上门升降机构15上安装有可旋转的超高压样品台14，超高压样品台14侧端固定安装样品架挡板13，超高压样品台14上左右中心对称安装超高压电子枪17，超高压电子枪17上设置有对应的电子枪挡板18，超高压样品台14底部设置有样品膜厚探头12。
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