天合光能股份有限公司汪烨辰获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利平行靶磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222961522U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422173338.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型平行靶磁控溅射设备是由汪烨辰;夏锐;张学玲设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本平行靶磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种平行靶磁控溅射设备，通过设置平行相对的阴极磁铁和阳极磁铁，使阴极磁铁和阳极磁铁之间形成电磁场空间，在磁控溅射中，由于垂直于靶材的方向的靶材粒子的溅射能量相对较高，其溅射到平行设置的另一块靶材上，不会对钙硅层叠电池造成损害，而非垂直方向的靶材粒子的溅射能量相对较低，在电磁场空间的约束作用下最终沉积到钙硅层叠电池，故可以使得磁控溅射所造成的损害降低。此外，该平行靶磁控溅射设备还包括冷却组件，可以使钙硅层叠电池的温度控制在一定范围，从而也可以减少高温对钙硅层叠电池的影响，进而能够提升钙硅层叠电池的品质。
本实用新型平行靶磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种平行靶磁控溅射设备，其特征在于，包括：磁性组件，所述磁性组件包括磁性共轭的阴极磁铁和阳极磁铁，所述阴极磁铁和所述阳极磁铁平行相对设置，所述阴极磁铁和所述阳极磁铁之间形成有电磁场空间；靶材，设置在所述阴极磁铁面向所述阳极磁铁的一侧，以及设置在所述阳极磁铁面向所述阴极磁铁的一侧；冷却组件，设置在所述电磁场空间的上方，所述冷却组件包括冷却重力板，所述冷却重力板的下表面与钙硅层叠电池接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天合光能股份有限公司，其通讯地址为：213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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