正创堂(深圳)新材料科技有限公司夏海波获国家专利权
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龙图腾网获悉正创堂(深圳)新材料科技有限公司申请的专利真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422167467.7,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备是由夏海波设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备,包括真空仓,所述真空仓内部一端的中部设置有冷却鼓,所述真空仓内部一端一侧的顶部和底部分别设置有收卷辊和放卷辊,所述真空仓一侧的顶部设置有电子束枪,所述真空仓内部一端的靠近冷却鼓的底部设置有安装板,所述安装板顶部的中部设置有坩埚,所述坩埚顶部的两侧套设有转杆;本实用新型通过在坩埚上增加辐射冷板,将目前卷绕蒸镀设备的单边冷却改变为双面温控,有效减少应力应变,更精准温度控制,同时减少蒸镀材料雾沫阻挡,易于形成更厚更均匀的蒸镀层,提高蒸镀材料附着效率,另外增加辐射冷板后对真空室可以实现快速降温,从而加快真空撤退后的开门时间。
本实用新型真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备在权利要求书中公布了:1.真空室装填吸附剂的双面温控卷绕蒸镀设备,包括真空仓1,其特征在于:所述真空仓1内部一端的中部设置有冷却鼓4,所述真空仓1内部一端一侧的顶部和底部分别设置有收卷辊3和放卷辊2,所述真空仓1一侧的顶部设置有电子束枪5,所述真空仓1内部一端的靠近冷却鼓4的底部设置有安装板6,所述安装板6顶部的中部设置有坩埚7,所述坩埚7顶部的两侧套设有转杆17,两组所述转杆17的外侧设置有辐射冷板8,两组所述辐射冷板8的内部设置有冷却管16,两组所述辐射冷板8顶部相远离一侧的两端设置有吸附填料槽15,所述安装板6底部的中部设置有调节组件。
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