江苏鲁汶仪器股份有限公司胡少谦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种靶材装置及离子束沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222961530U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422140966.7，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种靶材装置及离子束沉积系统是由胡少谦;桑康;陈龙保;胡冬冬;耿斌;闫奎呈;冯家莉;许开东设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材装置及离子束沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种靶材装置及离子束沉积系统，靶材装置应用于离子束沉积系统，离子束沉积系统包括工艺发生装置，工艺发生装置的内部形成工艺腔室；靶材装置包括：第一载台，第一载台用于安装靶材，第一载台被配置为能够设置在工艺腔室内；防护罩，防护罩能够罩设于第一载台，防护罩设置有溅射窗口，防护罩被配置为能够设置在工艺腔室内；驱动机构，包括驱动组件和驱动轴组件，驱动轴组件包括相套接的内轴和外轴，驱动组件和内轴以及外轴均相连，用于驱使内轴和外轴进行转动，内轴和第一载台相连，外轴和防护罩相连，外轴用于驱使防护罩在溅射工位和防护工位之间进行切换。该靶材装置不易造成靶材的污染，且结构设计紧凑，安装占用空间相对较小。
本实用新型一种靶材装置及离子束沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种靶材装置，应用于离子束沉积系统，所述离子束沉积系统包括工艺发生装置，所述工艺发生装置的内部形成有工艺腔室，其特征在于，所述靶材装置包括：第一载台，所述第一载台用于安装靶材，所述第一载台被配置为能够设置在所述工艺腔室内；防护罩，所述防护罩能够罩设于所述第一载台，所述防护罩设置有溅射窗口，所述防护罩被配置为能够设置在所述工艺腔室内；驱动机构，包括驱动组件和驱动轴组件，所述驱动轴组件包括相套接的内轴和外轴，所述驱动组件和所述内轴以及所述外轴均相连，用于驱使所述内轴和所述外轴进行转动，所述内轴和所述第一载台相连，所述外轴和所述防护罩相连，所述外轴用于驱使所述防护罩在溅射工位和防护工位之间进行切换。
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