江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利冷却液温控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222958352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422137030.9，技术领域涉及：B24B55/03；该实用新型冷却液温控装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却液温控装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种冷却液温控装置，用于晶圆加工设备，晶圆加工设备包括供液装置和磨削装置，磨削装置包括磨削电机，冷却液温控装置包括第一供液系统、第二供液系统和冷却系统，冷却系统包括第一主路、第一辅助回路和第二辅助回路，第一辅助回路与第二辅助回路并联且第一辅助回路与第二辅助回路的两端均与第一主路串联，第一主路上设有压缩机和冷凝器，冷凝器位于压缩机的下游，第一辅助回路设有第一蒸发器，第一蒸发器位于第一供液系统的第一水箱内，第二辅助回路设有第二蒸发器，第二蒸发器位于第二供液系统的第二水箱内。根据本实用新型的冷却液温控装置，不仅提高了磨削电机的冷却效果，还提高了晶圆磨削减薄的精度。
本实用新型冷却液温控装置在权利要求书中公布了：1.一种冷却液温控装置，用于晶圆加工设备，其特征在于，所述晶圆加工设备包括：供液装置和磨削装置，所述磨削装置包括磨削电机，所述冷却液温控装置包括：第一供液系统、第二供液系统和冷却系统，所述第一供液系统包括：第一水箱和供液流路，所述供液流路用于连通所述第一水箱与所述供液装置；所述第二供液系统包括：第二水箱和冷却回路，所述冷却回路的进口和出口均与所述第二水箱连通，所述冷却回路用于对所述磨削电机进行冷却；所述冷却系统包括：第一主路、第一辅助回路和第二辅助回路，所述第一辅助回路与所述第二辅助回路并联且所述第一辅助回路与所述第二辅助回路的两端均与所述第一主路串联，所述第一主路上设有压缩机和冷凝器，所述冷凝器位于所述压缩机的下游，所述第一辅助回路设有第一蒸发器，所述第一蒸发器位于所述第一水箱内，所述第二辅助回路设有第二蒸发器，所述第二蒸发器位于所述第二水箱内。
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