嘉兴傲威半导体有限公司吴昊获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴傲威半导体有限公司申请的专利一种晶圆离子注入装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422116950.2，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型一种晶圆离子注入装置是由吴昊;冯羽设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆离子注入装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆离子注入装置，包括：离子注入机、安装于离子注入机内的离子束发射器、安装于离子注入机内的固定架、电机和抽气管，还包括：通过轴承插接于固定架顶部外壁上的转动杆和安装于转动杆顶端的联动组件。本实用新型可将多个晶圆分别放在多个承载自转组件上，通过转动杆的转动多个晶圆轮流进行离子注入，避免单一晶圆在一定时间持续注入离子，导致表面温度较高，在晶圆转动的过程中，可利用清灰组件对晶圆表面灰尘进行清扫，配合抽气管将抽气将灰尘抽走，避免晶圆表面灰尘导致离子注入的不均匀性，而且晶圆在转动的过程中会不断的经过抽气管下方，抽气管在抽气的过程中可将晶圆表面热量带走，有利于晶圆散热。
本实用新型一种晶圆离子注入装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆离子注入装置，包括：离子注入机1、安装于离子注入机1内的离子束发射器2、安装于离子注入机1内的固定架3、电机4和抽气管5；其特征在于，还包括：通过轴承插接于固定架3顶部外壁上的转动杆6和安装于转动杆6顶端的联动组件11，所述转动杆6外壁上安装有转盘7和安装架8，且安装架8外壁转动安装有多个等距分布的承载自转组件9，所述转动杆6外壁安装有主动齿轮10，且抽气管5内壁安装有清灰组件12，所述转动杆6通过联动组件11与清灰组件12连接，且电机4输出轴与转动杆6底部连接。
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