海创智能装备(烟台)有限公司杨云春获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种用于真空环境下的晶圆键合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966076U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422114583.2，技术领域涉及：H01L21/603；该实用新型一种用于真空环境下的晶圆键合装置是由杨云春;张文庆设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空环境下的晶圆键合装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于真空环境下的晶圆键合装置，包括压头、第一相机、载物台、第二相机和机械手，压头与驱动装置连接并在驱动装置的作用下升降，压头用于压合两片或两片以上的待键合晶圆，载物台位于压头的下方，载物台用于定位并夹紧待键合晶圆，第一相机用于对载物台上的待键合晶圆的基准点进行拍照并获取基准点的坐标位置，机械手位于载物台的一侧，机械手用于向载物台输送待键合晶圆，第二相机位于待键合晶圆的输送路径上，第二相机用于对机械手上的待键合晶圆的基准点进行拍照并获取基准点的坐标位置。解决现有技术中两个或多个晶圆分别预定位使晶圆之间发生相对位移而导致对准精度差，影响良品率的问题。
本实用新型一种用于真空环境下的晶圆键合装置在权利要求书中公布了：1.一种用于真空环境下的晶圆键合装置，其特征在于，包括压头1、第一相机2、载物台3、第二相机4和机械手7，所述压头1与驱动装置连接并在所述驱动装置的作用下升降，所述压头1用于压合两片或两片以上的待键合晶圆，所述载物台3位于所述压头1的下方，所述载物台3用于定位并夹紧待键合晶圆，所述第一相机2用于对所述载物台3上的待键合晶圆的基准点进行拍照并获取该基准点的坐标位置，所述机械手7位于所述载物台3的一侧，所述机械手7用于向所述载物台3输送待键合晶圆，所述第二相机4位于待键合晶圆的输送路径上，所述第二相机4用于对所述机械手7上的待键合晶圆的基准点进行拍照并获取该基准点的坐标位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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