兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司刘建蔚获国家专利权
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龙图腾网获悉兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种适用多规格晶圆的寻边设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966118U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422104998.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种适用多规格晶圆的寻边设备是由刘建蔚;廖爱娟;陈荔芬设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用多规格晶圆的寻边设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种适用多规格晶圆的寻边设备，属于半导体加工制造技术领域，具体包括基座、寻边转轴、定边组件、晶圆架和调节组件，所述寻边转轴水平设置在基座上并能在基座上转动，所述定边组件设置在基座上且沿寻边转轴轴向设置所述晶圆架用于承托竖立的晶圆，且所述晶圆直边处能够向下伸出晶圆架，所述晶圆架包括防止晶圆倾倒的侧板和至少一处用于支撑晶圆的支撑点，所述调节组件用于调节定边组件和寻边转轴横截面最顶部素线之间的距离。本实用新型通过设置调节组件，让定边组件和寻边转轴横截面最顶部素线之间的距离可调节，进而让本产品可以适用在同规格或不同规格中不同长度的定位直线的晶圆中。
本实用新型一种适用多规格晶圆的寻边设备在权利要求书中公布了：1.一种适用多规格晶圆的寻边设备，其特征在于：包括基座1、寻边转轴2、定边组件3、晶圆架和调节组件，所述寻边转轴2水平设置在基座1上并能在基座1上转动，所述定边组件3设置在基座1上且沿寻边转轴2轴向设置，所述基座1上设置有定位槽块5，所述晶圆架上设置有配合有定位块槽使用的有定位槽块5；所述晶圆架用于承托竖立的晶圆，且所述晶圆直边处能够向下伸出晶圆架，所述晶圆架包括防止晶圆倾倒的侧板和至少一处用于支撑晶圆的支撑点；所述晶圆架装配至基座1上后，寻边转轴2转动过程中形成以下三种情况：1晶圆的弧形边与寻边转轴2抵触并使得晶圆上升并脱离至少一个支撑点；2当晶圆的弧形边转离寻边转轴2时，晶圆的定位直边受到定边组件3的支撑；3当晶圆的弧形边转离寻边转轴2时，晶圆的定位直边受到寻边转轴2和定边组件3的支撑，且晶圆不随寻边转轴2运动；其中，所述调节组件用于调节定边组件3和寻边转轴2横截面最顶部素线之间的距离。
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