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龙图腾网获悉浙江无限钻科技发展有限公司申请的专利一种CVD设备的晶圆举升机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966119U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422106060.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种CVD设备的晶圆举升机构是由叶爽;叶中豪;叶满;严商奇设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD设备的晶圆举升机构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种CVD设备的晶圆举升机构，属于晶圆举升技术领域，以解决现有的举升机构波纹管在连接时需要耗费较长时间，影响了举升机构的安装效率的问题，包括定位安装盘、定位连接座、波纹管、晶圆承载台、限位隔板、驱动转轴、传动结构、连接结构和驱动螺纹盘；所述定位连接座设置在所述定位安装盘的上部；所述波纹管固定连接在所述定位连接座的上部；所述晶圆承载台设置在所述定位连接座的上部；所述限位隔板滑动连接在所述晶圆承载台的上部；所述驱动转轴转动连接在所述晶圆承载台的左右两侧；所述驱动螺纹盘转动连接在所述定位连接座的中部；本实用新型避免了多次旋拧螺栓的不便，节省了大量时间，有效的提高了波纹管的拆装效率。

本实用新型一种CVD设备的晶圆举升机构在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备的晶圆举升机构，包括定位安装盘（1）、定位连接座（2）、波纹管（3）、晶圆承载台（4）、限位隔板（5）、驱动转轴（6）、传动结构、连接结构和驱动螺纹盘（7）；所述定位连接座（2）设置有两个，下方所述定位连接座（2）设置在所述定位安装盘（1）的上部；所述波纹管（3）固定连接在下方所述定位连接座（2）的上部；上方所述定位连接座（2）固定连接在所述波纹管（3）的上部；所述晶圆承载台（4）设置在上方所述定位连接座（2）的上部；其特征在于：所述限位隔板（5）上下滑动连接在所述晶圆承载台（4）的上部，所述限位隔板（5）通过弹簧与所述晶圆承载台（4）弹性连接；所述驱动转轴（6）设置有两个，两个所述驱动转轴（6）分别转动连接在所述晶圆承载台（4）的左右两侧，两个所述驱动转轴（6）均通过涡卷弹簧与所述晶圆承载台（4）弹性连接；所述传动结构设置在所述定位安装盘（1）的上方；所述连接结构设置在所述定位连接座（2）的外侧；所述驱动螺纹盘（7）设置有两个，两个所述驱动螺纹盘（7）分别转动连接在两个所述定位连接座（2）的中部。

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