苏州恩斯贝格精密机械有限公司蒋松杰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州恩斯贝格精密机械有限公司申请的专利一种晶圆环一体式研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222958314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422091677.2,技术领域涉及:B24B37/02;该实用新型一种晶圆环一体式研磨装置是由蒋松杰;蒋志刚设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环一体式研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆环一体式研磨装置,研磨组件包括研磨机头,定位筒和连接座,研磨机头设置在定位筒内,定位筒具有侧向开口,侧向开口与研磨机头的刀具对应设置,定位筒设置在连接座上,连接座具有通孔,刀具位于通孔上方,定位组件包括限位板,导板和定位板,限位板具有板体,板体周侧设有上翻折部和下翻折部,板体设有与通孔对应的环形槽,连接座设置在下翻折部之间并通过第一锁紧件锁紧,限位板与定位筒通过上翻折部的第二锁紧件锁紧,导板设置在限位板下方且与限位板连接,定位板设置在导板下方且与导板转动连接,所述定位板设有与配接孔对应的环形槽和卡爪。本实用新型能够便于对晶圆环进行定位,同时能够对晶圆环孔洞内壁进行研磨。
本实用新型一种晶圆环一体式研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆环一体式研磨装置,包括研磨组件和定位组件,其特征在于,所述研磨组件包括研磨机头,定位筒和连接座,研磨机头设置在定位筒内,定位筒具有侧向开口,侧向开口与研磨机头的刀具对应设置,定位筒设置在连接座上,连接座具有通孔,所述刀具位于通孔上方,所述定位组件包括限位板,导板和定位板,限位板具有板体,板体周侧设有上翻折部和下翻折部,板体设有与通孔对应的环形槽,所述连接座设置在下翻折部之间并通过第一锁紧件锁紧,限位板与定位筒通过上翻折部的第二锁紧件锁紧,所述导板设置在限位板下方且与限位板连接,所述定位板设置在导板下方且与导板转动连接,所述定位板设有与配接孔对应的环形槽和卡爪。
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