费勉仪器科技(上海)有限公司王天邻获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利真空处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422079555.1,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型真空处理系统是由王天邻;谢斌平;陈飞;陈志刚设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空处理系统在说明书摘要公布了:本公开涉及真空设备技术领域,公开了一种真空处理系统。真空处理系统包括真空中转腔、至少一个真空处理腔和真空传样装置。至少一个真空处理腔,与真空中转腔连通。至少一个真空处理腔包括:进样腔、出样腔、解理腔、镀膜腔、翻转腔和氢原子清洗腔中的一种或多种。真空传样装置,用于在所述至少一个真空处理腔之间传样。
本实用新型真空处理系统在权利要求书中公布了:1.一种真空处理系统,其特征在于,包括:真空中转腔;至少一个真空处理腔,与所述真空中转腔连通,所述至少一个真空处理腔包括:进样腔、出样腔、解理腔、镀膜腔、翻转腔和氢原子清洗腔中的一种或多种;以及真空传样装置,用于在所述至少一个真空处理腔之间传样。
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