先微精艺(苏州)科技有限公司王铭志获国家专利权
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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于晶圆清洗设备的摆臂设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422078934.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型适用于晶圆清洗设备的摆臂设备是由王铭志;韩之阳设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于晶圆清洗设备的摆臂设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于晶圆清洗设备的摆臂设备，包括有设备基座，设备基座上设置有若干垂直导向板，垂直导向板之间构成容纳空间，垂直导向板的上端设置有间隔板，设一块垂直导向板为驱动承载板，驱动承载板，位于容纳空间内侧设置有Z向驱动设备，设相邻的另一块垂直导向板为位移引导板，位移引导板，位于容纳空间内侧设置有Z向导向装置，Z向导向装置上安装有转向驱动设备，转向驱动设备传导连接有垂直调节组件，垂直调节组件上设置有摆臂装置。由此，通过Z向驱动设备、Z向导向装置的相互配合，可带动摆臂装置实现平稳的上下位移，满足不同的作业高度，适应性高。通过转向驱动设备，控制摆臂装置拥有较大的覆盖角度，可提升作业范围。
本实用新型适用于晶圆清洗设备的摆臂设备在权利要求书中公布了：1.适用于晶圆清洗设备的摆臂设备，包括有设备基座，其特征在于：所述设备基座上设置有若干垂直导向板，所述垂直导向板之间构成容纳空间，所述垂直导向板的上端设置有间隔板，设一块垂直导向板为驱动承载板，所述驱动承载板，位于容纳空间内侧设置有Z向驱动设备，设相邻的另一块垂直导向板为位移引导板，所述位移引导板，位于容纳空间内侧设置有Z向导向装置，所述Z向驱动设备设置有安装板，所述安装板与Z向导向装置相连，所述Z向导向装置上安装有转向驱动设备，所述转向驱动设备传导连接有垂直调节组件，所述垂直调节组件的上端穿过间隔板，所述垂直调节组件的下端与安装板活动连接，所述垂直调节组件上设置有摆臂装置，所述摆臂装置内设置有预留空间，所述摆臂装置的前端设置有与预留空间导通的安装孔。
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