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浙江晶泰半导体有限公司周云龙获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江晶泰半导体有限公司申请的专利一种单晶炉石英坩埚盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961609U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422065914.8,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型一种单晶炉石英坩埚盘是由周云龙;吴凌锋设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种单晶炉石英坩埚盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种单晶炉石英坩埚盘。本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶炉石英坩埚盘。本实用新型采用的技术方案:包括坩埚盘主体、过滤装置、排气装置和水平仪,所述排气装置包括排气底座、压杆、锁紧弹簧和主密封圈,所述排气底座包括底座走气部和底座端部,所述底座走气部底部内设有走气密封槽,所述走气密封槽内设有前后贯穿且用于所述压杆动作的走气动作孔,底座走气部底部设有防退卡块。本实用新型的优点在于:锁紧弹簧安装在坩埚盘外部,这种外置式结构有效避免弹簧因气体侵蚀而受损,使得排气保持稳定可靠;外密封圈和内密封圈的双重密封结构,使得排气装置与坩埚盘连接紧密,有效防止漏气,使得坩埚盘内气压稳定可控。

本实用新型一种单晶炉石英坩埚盘在权利要求书中公布了:1.一种单晶炉石英坩埚盘,其特征在于:包括坩埚盘主体(1)、设在所述坩埚盘主体(1)上的过滤装置(2)、排气装置(3)和水平仪(4),所述排气装置(3)包括排气底座(6)、压杆(7)、锁紧弹簧(8)和主密封圈(9),所述排气底座(6)包括底座走气部(13)和底座端部(14),所述底座走气部(13)底部内设有用于所述主密封圈(9)置入的走气密封槽(15),所述走气密封槽(15)内设有前后贯穿且用于所述压杆(7)动作的走气动作孔(16),所述底座走气部(13)底部设有防退卡块(17),所述压杆(7)包括依次设置的压杆按压部(18)、在所述走气动作孔(16)内移动的压杆杆体(19)和压杆密封部(20),所述锁紧弹簧(8)套设在所述压杆杆体(19)上且其一端抵在所述压杆按压部(18)上,其另一端抵在所述底座端部(14)上,所述压杆密封部(20)上设有用于所述主密封圈(9)安装的主密封圈限位槽(21),所述压杆杆体(19)上设有用于气体排出的排气口(22);所述坩埚盘主体(1)上设有用于所述水平仪(4)安装的水平仪安装法兰(24)和与所述排气底座(6)对接的排气承接座(25),所述排气承接座(25)设有与所述底座端部(14)对接的承接座对接端面(27)和用于所述底座走气部(13)置入的排气座安装孔(26),所述防退卡块(17)卡接在所述排气承接座(25)内端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶泰半导体有限公司,其通讯地址为:325600 浙江省温州市乐清市乐清经济开发区纬十六路211号(北二变电气有限公司内);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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