扬州扬杰电子科技股份有限公司王坤获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利具有改善P-well区电场集中的SiCVDMOS器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222967303U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422072738.0,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型具有改善P-well区电场集中的SiCVDMOS器件是由王坤;杨程;王正;万胜堂;马驰远;朱秀梅;王毅设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有改善P-well区电场集中的SiCVDMOS器件在说明书摘要公布了:具有改善P‑well区电场集中的SiCVDMOS器件。涉及半导体技术领域。包括从下而上依次设置的漏极金属层、N+衬底层、N型缓冲层和N‑漂移层;所述N‑漂移层上设有:P‑Well区,从所述N‑漂移层的顶面向下延伸,靠近中部一侧呈一斜面;N+区,从所述P‑Well区的顶面向下延伸;P+区,从所述P‑Well区的顶面向下延伸,并与所述N+区连接;栅氧化层,设置在所述N‑漂移层的顶面,其底面分别与所述N+区、P‑Well区和N‑漂移层连接;Poly层,形成于所述栅氧化层的顶面;介质层,包裹在所述栅氧化层和Poly层上,并与所述N+区连接;源极欧姆接触合金层,形成于所述P+区和N+区的顶面,侧部与所述介质层连接;源极金属层,形成于所述源极欧姆接触合金层和介质层的顶面。本实用新型增强了芯片过流能力。
本实用新型具有改善P-well区电场集中的SiCVDMOS器件在权利要求书中公布了:1.具有改善P-well区电场集中的SiCVDMOS器件,其特征在于,包括从下而上依次设置的漏极金属层(1)、N+衬底层(2)、N型缓冲层(3)和N-漂移层(4);所述N-漂移层(4)上设有:P-Well区(5),从所述N-漂移层(4)的顶面向下延伸,靠近中部一侧呈一斜面;N+区(8),从所述P-Well区(5)的顶面向下延伸;P+区(6),从所述P-Well区(5)的顶面向下延伸,并与所述N+区(8)连接;栅氧化层(9),设置在所述N-漂移层(4)的顶面,其底面分别与所述N+区(8)、P-Well区(5)和N-漂移层(4)连接;Poly层(10),形成于所述栅氧化层(9)的顶面;介质层(11),包裹在所述栅氧化层(9)和Poly层(10)上,并与所述N+区(8)连接;源极欧姆接触合金层(7),形成于所述P+区(6)和N+区(8)的顶面,侧部与所述介质层(11)连接。
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