扬州扬杰电子科技股份有限公司王正获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利一种SiC VDMOSFET器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222967307U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422072724.9,技术领域涉及:H10D62/10;该实用新型一种SiC VDMOSFET器件是由王正;杨程;裘俊庆;王毅设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SiC VDMOSFET器件在说明书摘要公布了:一种SiCVDMOSFET器件,涉及半导体技术领域。本实用新型向器件栅极中间底部的SiCDrift层离子注入形成重掺杂的PP区,并在PP区的顶面通过制备实现欧姆接触,使栅极Poly层与PP区相连接。在栅极Poly层受驱动电压时,PP区可以释放一部分栅极驱动电压应力,从而减轻对栅氧化层的电压应力,保护了栅氧化层,而在器件阻断过程中,PP区由于处于栅极底部,又可以屏蔽漏极电压产生的电场集中,再次保护了栅氧化层。
本实用新型一种SiC VDMOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种SiCVDMOSFET器件,其特征在于,包括从下而上依次设置的SiCSub层(1)、SiCDrift层(2)和JFET区(3);所述JFET区(3)上设有:P-body区(4),从所述JFET区(3)的顶面向下延伸;NP区(5),从所述P-body区(4)的顶面向下延伸,与所述P-body区(4)的底面设有间距;即P-body区(4)的深度大于NP区(5)的深度;PP区(6),分别形成于所述JFET区(3)中部和P-body区(4)内;所述P-body区(4)内的PP区(6)从NP区(5)顶面向下延伸,并与之连接;欧姆接触层(7),形成于所述JFET区(3)中的PP区(6)顶面上;栅氧化层(8),分别形成于所述NP区(5)、P-body区(4)和PP区(6)的顶面;Poly层(9),形成于所述栅氧化层(8)和欧姆接触层(7)的顶面;隔离介质层(10),包裹在所述栅氧化层(8)和Poly层(9)上,底面与所述NP区(5)连接。
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