扬州扬杰电子科技股份有限公司王正获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利一种沟槽SiC MOSFET器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222967308U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422072731.9,技术领域涉及:H10D62/10;该实用新型一种沟槽SiC MOSFET器件是由王正;杨程;裘俊庆;王毅设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沟槽SiC MOSFET器件在说明书摘要公布了:一种沟槽SiCMOSFET器件,涉及半导体技术领域。通过在沟槽一侧形成P+区实现了单边沟槽结构;器件使用时,P+区与SiCDrift层形成的空间耗尽层屏蔽电场,保护栅氧化层,避免栅氧化层的提早失效,并且在沟槽另一侧形成N+区,降低了器件内阻,同时在顶面制备肖特基接触,使器件内部集成了SBD体二极管,从而减小了器件的续流损耗。
本实用新型一种沟槽SiC MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种沟槽SiCMOSFET器件,其特征在于,包括从下而上依次设置的N+Sub层(1)、N-Drift层(2)、合金层(10)和正面电极金属层(11);所述N-Drift层(2)上设有:Pwell区(3),位于所述N-Drift层(2)内;NP区(4),位于所述Pwell区(3)的顶面;P+区(5),从所述NP区(4)的顶面向下延伸至Pwell区(3)的下方,底部设有第一横向延伸部;N+区(6),从所述Pwell区(3)的底面向下延伸,底部设有与第一横向延伸部连接的第二横向延伸部;栅氧化层(7),顶面与所述NP区(4)的顶面齐平,向下依次经过所述NP区(4)、Pwell区(3)和N+区(6)后,在所述N+区(6)的拐角处横向延伸,形成第三横向延伸部;Poly层(8),位于所述栅氧化层(7)的侧部,顶面与所述栅氧化层(7)的顶面齐平,底面与所述栅氧化层(7)的底部连接;隔离介质层(9),从所述NP区(4)的顶面横向延伸,经过所述栅氧化层(7)和Poly层(8)后向下延伸,与所述栅氧化层(7)的第三横向延伸部连接;所述隔离介质层(9)的底面分别与N+区(6)和P+区(5)连接;合金层(10)设置在所述NP区(4)和隔离介质层(9)内;所述隔离介质层(9)内的合金层(10)底面分别与N+区(6)和P+区(5)连接;所述合金层(10)位于Pwell区(3)的下方。
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