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通威微电子有限公司刘伟杰获国家专利权

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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利一种碳化硅晶体腐蚀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961622U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422063613.1,技术领域涉及:C30B33/10;该实用新型一种碳化硅晶体腐蚀装置是由刘伟杰设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化硅晶体腐蚀装置在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供了一种碳化硅晶体腐蚀装置,涉及碳化硅腐蚀设备技术领域。碳化硅晶体腐蚀装置包括第一炉体、第二炉体及炉盖。第二炉体设置于第一炉体内且第二炉体的外周壁与第一炉体的内周壁之间具有间距,第二炉体用于容置腐蚀原料。炉盖盖设于第一炉体,炉盖具有相对的第一面及第二面,第二面相对第一面靠近第二炉体,第二面在远离第一炉体外周壁的方向上的高度尺寸逐渐增大,第二面用于引导自身上的液体向靠近第一炉体的内周壁移动。当凝结的液体在第二面的作用下向第一炉体的内周壁移动,能够使得凝结的液体掉落至第二炉体的两侧,能够减小凝结的液体落入第二炉体内的情况,从而减小安全隐患的发生。

本实用新型一种碳化硅晶体腐蚀装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶体腐蚀装置,其特征在于,包括:第一炉体100;第二炉体200,所述第二炉体200设置于所述第一炉体100内且所述第二炉体200的外周壁与所述第一炉体100的内周壁之间具有间距,所述第二炉体200用于容置腐蚀原料;炉盖300,所述炉盖300盖设于所述第一炉体100,所述炉盖300具有相对的第一面310及第二面320,所述第二面320相对所述第一面310靠近所述第二炉体200,所述第二面320在远离所述第一炉体100外周璧的方向上的高度尺寸逐渐增大,所述第二面320用于引导自身上的液体向靠近所述第一炉体100的内周璧移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威微电子有限公司,其通讯地址为:610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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