施耐博格精密系统(深圳)有限公司王博获国家专利权
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龙图腾网获悉施耐博格精密系统(深圳)有限公司申请的专利一种回转气路装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222958450U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422008512.4，技术领域涉及：B25B11/00；该实用新型一种回转气路装置是由王博;汤武;关巍设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种回转气路装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种回转气路装置，涉及回转真空气路技术领域，包括支撑台面，所述支撑台面的底部安装有逻辑组件，所述逻辑组件包括气路转接块，所述气路转接块安装在支撑台面的底部，所述气路转接块的顶部分别安装有内圈气路接头和外圈气路接头，所述气路转接块的底部安装有单通气路滑环、气管接头B和真空逻辑阀，所述单通气路滑环的底部安装有气管接头A，所述气管接头B的外侧安装有气路堵头，所述真空逻辑阀的底部安装有气管接头C；能够自动开闭外圈真空气路，大幅减少了气路结构所需的空间，间接提高整个系统的运动性能，适用于吸附不同大小尺寸规格的晶圆，提高真空吸附效果。
本实用新型一种回转气路装置在权利要求书中公布了：1.一种回转气路装置，包括支撑台面1，所述支撑台面1的底部安装有逻辑组件2，其特征在于：所述逻辑组件2包括气路转接块4，所述气路转接块4安装在支撑台面1的底部，所述气路转接块4的顶部分别安装有内圈气路接头5和外圈气路接头6，所述气路转接块4的底部安装有单通气路滑环7、气管接头B9和真空逻辑阀11，所述单通气路滑环7的底部安装有气管接头A8，所述气管接头B9的外侧安装有气路堵头10，所述真空逻辑阀11的底部安装有气管接头C12，所述气管接头B9与气管接头C12之间连接安装有U形气管13。
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