日月新半导体(昆山)有限公司孙博获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利Iconn机型气压表电子监测获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222964792U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422000705.5,技术领域涉及:G01L19/12;该实用新型Iconn机型气压表电子监测是由孙博;叶峰;李英奎;唐金龙;李林;尤俊杰;刘勇;彭乃钦;金山山设计研发完成,并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本Iconn机型气压表电子监测在说明书摘要公布了:本实用新型涉及进线系统气压监测技术领域的Iconn机型气压表电子监测,安装在机台上层控制台正面,包括:进气模块,用于控制气体的进出,包括真空管道和电磁阀;侦测处理模块,包括BITS电路板、CPU背板和气压表;显示模块,集显示与调节为一体,能够实时反映气压状态,所述显示模块设置于气压表上。本实用新型改良了原有机械指针式气压表,可以同时克服当气压超出或低于规定范围无法及时发现,围绕电子监测方向实时监测,出现气压异常时联动机台自身发出报警信息,避免气压异常导致进线故障,引发产品品质异常。
本实用新型Iconn机型气压表电子监测在权利要求书中公布了:1.Iconn机型气压表203电子监测,安装在机台上层控制台正面,其特征在于:包括:进气模块1,用于控制气体的进出,包括真空管道102和电磁阀101;侦测处理模块2,包括BITS电路板201、CPU背板202和气压表203;显示模块3,集显示与调节为一体,能够实时反映气压状态,所述显示模块3设置于气压表203上;所述侦测处理模块2连接于显示模块3的背部;所述真空管道102安装于侦测模块一侧,用于输入空气;所述电磁阀101安装于侦测模块下方,用于控制气体的进出,所述电磁阀101通过电磁阀101信号线与侦测模块连接,所述电磁阀101的输入端与BITS电路板201相连,在气压超出设定范围时触发机台报警;所述气压表203的进气端与电磁阀101的输出端相连,信号传输端包括传感器线204,与CPU背板202相连,用于传输气压信号;所述CPU背板202用于接收气压信号,反馈数字信号给BITS电路板201;所述BITS电路板201用于处理信号并反馈给机台显示屏,在气压超出设定范围时触发机台显示屏报警;送线系统气压表203侦测传感器线204与氮氢混合气压侦测传感器线204做串联连接,利用氮气混合气压监测处理系统,同时监测送线系统气压,其中任意一路气压异常时机台系统反馈异常,机台出现气压异常报警。
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