江苏微导纳米科技股份有限公司陈程获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种反应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222967332U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422010019.6，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型一种反应装置是由陈程;泮明华设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种反应装置，该反应装置的第一法兰上设置有保护气通道，在向反应腔室内部通入反应气体对硅片进行工艺时，可以同步向第一端盖一侧通入保护气，保护气的气压可以略大于反应气体在第一端盖位置的气压，保护气可以在第一端盖附近区域形成微正压，既能够防止反应气体扩散到第一端盖附近，又不会过度扩散影响反应腔室中硅片放置区域，既可以保护炉门及炉口金属密封部件，又可以提高加工后硅片的质量。
本实用新型一种反应装置在权利要求书中公布了：1.一种反应装置，其特征在于，包括：设备主体，具有反应腔室，所述设备主体具有连通所述反应腔室的开口；第一端盖和第一法兰，所述第一端盖通过所述第一法兰连接于所述开口，所述第一法兰设置有保护气通道，用于将保护气吹入所述第一端盖朝向所述反应腔室一侧区域，以抑制所述反应腔室内部反应气体流向所述第一端盖。
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