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通威太阳能(成都)有限公司毛望齐获国家专利权

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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利石墨舟及镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961538U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421958143.9,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型石墨舟及镀膜装置是由毛望齐;徐冠群;李红飞;夏伟;张占洋;张宇滕;马凡东设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

石墨舟及镀膜装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种石墨舟及镀膜装置,石墨舟包括舟体、盖体以及多个进气机构,其中舟体的内部设有多个腔室,每个腔室均具有用于供硅片进出的开口。盖体可开合地盖设在舟体上并用于封闭所有开口。多个进气机构间隔地设置在盖体上,并且各述进气机构与各腔室一一对应设置,进气机构用于向对应的腔室输送特气。上述石墨舟能够提高硅片镀膜的均匀性,也能提高特气利用率。

本实用新型石墨舟及镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种石墨舟,其特征在于,包括:舟体(11),所述舟体(11)的内部设有多个腔室(111),每个所述腔室(111)均具有用于供硅片进出的开口;盖体(12),所述盖体(12)盖设在所述舟体(11)上并用于封闭所有所述开口;多个进气机构(13),所述多个进气机构(13)间隔地设置在所述盖体(12)上,并且各所述进气机构(13)与各所述腔室(111)一一对应设置,所述进气机构(13)用于向对应的所述腔室(111)输送特气。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(成都)有限公司,其通讯地址为:610299 四川省成都市高新综合保税区双流园区综保横路一段;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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