苏州纳丰真空技术有限公司付礼明获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州纳丰真空技术有限公司申请的专利一种可旋转双面靶材真空镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421937531.9,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种可旋转双面靶材真空镀膜装置是由付礼明;刘传省设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可旋转双面靶材真空镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于靶材技术领域,具体涉及一种可旋转双面靶材真空镀膜装置,包括机体和靶材搭载单元,旋转机构包括安装柱,安装柱均匀开设有四个矩形槽,夹持组件包括对称设置的两个夹持件,两个夹持件包括与矩形槽相匹配L形板,L形板前后两侧均开设有台阶槽,台阶槽内部安装有第一弹簧,台阶槽内部滑动连接有与第一弹簧连接的锁块,锁块下侧开设有斜面,矩形槽内部开设有若干与锁块相匹配的锁槽,两个锁块安装有解锁件;本实用新型能够通过两个夹持件的安装带动靶材在矩形槽内部调节位置,同时还能够将多个靶材拼接在矩形槽内部进行使用,而且夹持件操作方便快捷。
本实用新型一种可旋转双面靶材真空镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种可旋转双面靶材真空镀膜装置,包括机体和靶材搭载单元,所述机体内部转动安装有旋转机构,所述机体安装有供旋转机构转动的驱动电机,其特征在于:所述旋转机构包括安装柱,所述安装柱均匀开设有四个矩形槽,所述靶材搭载单元分别安装于矩形槽内部,所述矩形槽内部安装有位于靶材搭载单元外侧的夹持组件;所述夹持组件包括对称设置的两个夹持件,两个所述夹持件包括与矩形槽相匹配L形板,所述L形板前后两侧均开设有台阶槽,所述台阶槽内部安装有第一弹簧,所述台阶槽内部滑动连接有与第一弹簧连接的锁块,所述锁块下侧开设有斜面,所述矩形槽内部开设有若干与锁块相匹配的锁槽,两个所述锁块安装有解锁件。
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