上海善色师传感技术有限公司徐胜飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海善色师传感技术有限公司申请的专利一种新型MEMS压力传感器芯片获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222964767U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421949836.1，技术领域涉及：G01L1/22；该实用新型一种新型MEMS压力传感器芯片是由徐胜飞设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型MEMS压力传感器芯片在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种新型MEMS压力传感器芯片，包括芯片主体、压力膜片、键合层和四个焊盘；四个所述焊盘均设于压力传感器芯片底部，所述芯片主体连接焊盘，所述键合层贴合设于压力膜片与芯片主体之间，所述压力膜片无孔化设置，位于新型MEMS压力传感器芯片的顶部；所述芯片主体顶部设有真空腔；所述压力膜片包括主板体、轻掺压阻和重掺电路，轻掺压阻与重掺电路构成惠斯通检测电桥。该新型MEMS压力传感器芯片不需要焊线进行电路连接，通过键合层键合压力膜片与芯片主体，简化了连接，压力膜片无孔化设置，避免因杂质堵塞导致膜片感压异常，无需绑线，无需充油，结构简单，尺寸小，成本低。
本实用新型一种新型MEMS压力传感器芯片在权利要求书中公布了：1.一种新型MEMS压力传感器芯片，其特征在于：包括芯片主体1、压力膜片2、键合层3和四个焊盘4；四个所述焊盘4均设于压力传感器芯片底部，所述芯片主体1连接焊盘4，所述键合层3贴合设于压力膜片2与芯片主体1之间，所述压力膜片2无孔化设置，位于新型MEMS压力传感器芯片的顶部；所述芯片主体1顶部设有真空腔；所述压力膜片2包括主板体5、轻掺压阻6和重掺电路7，所述轻掺压阻6与重掺电路7构成与所述焊盘4电连接的惠斯通检测电桥。
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