嘉兴傲威半导体有限公司冯羽获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴傲威半导体有限公司申请的专利一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222956996U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421927115.0,技术领域涉及:B08B1/14;该实用新型一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置是由冯羽;吴昊设计研发完成,并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置,包括机座、设置在机座顶面的擦拭箱、开设在擦拭箱两侧表面的进出缺口、装设在擦拭箱内侧的两对传送辊和两对擦拭辊、开设在擦拭箱两侧表面且位于进出缺口上方的T形滑槽;滑动安装在擦拭箱两侧表面的挡灰板、固定在挡灰板背面且滑动位于T形滑槽内的T形后座;设置在挡灰板和擦拭箱之间的调节机构;本实用新型通过对现有技术中用于晶圆芯片加工的擦拭装置进行改进优化,在其原有的结构基础上增设了挡灰板和调节机构等结构,可在不影响晶圆芯片进出料的前提下对进出缺口进行有效的覆盖遮挡,尽可能的防止外界灰尘和异物不必要的进入,从而保证晶圆芯片后续在擦拭箱内的擦拭效果。
本实用新型一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置,其特征在于:包括机座1、设置在机座1顶面的擦拭箱2、开设在擦拭箱2两侧表面的进出缺口21、装设在擦拭箱2内侧的两对传送辊22和两对擦拭辊27、开设在擦拭箱2两侧表面且位于进出缺口21上方的T形滑槽23;滑动安装在擦拭箱2两侧表面的挡灰板3、固定在挡灰板3背面且滑动位于T形滑槽23内的T形后座31,且挡灰板3的底端将进出缺口21覆盖一部分;设置在挡灰板3和擦拭箱2之间的调节机构5。
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