费勉仪器科技(上海)有限公司谢斌平获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利用于磷裂解源的控温装置、磷裂解源以及真空处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222961541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421900394.1,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型用于磷裂解源的控温装置、磷裂解源以及真空处理系统是由谢斌平;朱奕衡;杨贺鸣设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于磷裂解源的控温装置、磷裂解源以及真空处理系统在说明书摘要公布了:本公开涉及真空设备技术领域,公开了一种用于磷裂解源的控温装置、磷裂解源以及真空处理系统。用于磷裂解源的控温装置,包括流体管道和冷却池。流体管道用于允许冷却流体流通进入冷却区。冷却池用于容纳流体管道的至少一部分,以对流体管道中的冷却流体进行冷却。
本实用新型用于磷裂解源的控温装置、磷裂解源以及真空处理系统在权利要求书中公布了:1.一种用于磷裂解源的控温装置,其特征在于,包括:流体管道,所述流体管道用于允许冷却流体流通进入冷却区;以及冷却池,所述冷却池用于容纳所述流体管道的至少一部分,以对所述流体管道中的冷却流体进行冷却。
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