上海北玻真空镀膜技术有限公司李金成获国家专利权
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龙图腾网获悉上海北玻真空镀膜技术有限公司申请的专利一种可移动平面磁场调节装置和磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222965890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421891249.1，技术领域涉及：H01F7/02；该实用新型一种可移动平面磁场调节装置和磁控溅射镀膜设备是由李金成;金昌度;路畅设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可移动平面磁场调节装置和磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可移动平面磁场调节装置和磁控溅射镀膜设备，涉及磁控溅射镀膜技术领域，可移动平面磁场调节装置包括磁钢座和安装于磁钢座上的内环磁铁及外环磁铁，所述内环磁铁沿长度方向的两侧各设一排导磁组件，且导磁组件位于内环磁铁和外环磁铁之间，导磁组件远离内环磁铁的一侧设有与导磁组件固定的导磁台，导磁台的底板上开设腰型孔，磁钢座上对应腰型孔位置设有螺栓安装孔，导磁台与磁钢座通过穿过腰型孔和螺栓安装孔的螺栓固定连接，沿腰型孔方向调整所述导磁台的位置，进而调整导磁组件在平面磁场的位置。本实用新型结构简单，调节方便，能够有效调节磁场分布的均匀性，从而提高磁控溅射镀膜质量。
本实用新型一种可移动平面磁场调节装置和磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种可移动平面磁场调节装置，包括磁钢座（101）和安装于磁钢座（101）上的内环磁铁（102）及外环磁铁（103），外环磁铁（103）位于内环磁铁（102）的外围，其特征在于：所述内环磁铁（102）沿长度方向的两侧各设一排导磁组件（104），且导磁组件（104）位于内环磁铁（102）和外环磁铁（103）之间；导磁组件（104）远离内环磁铁（102）的一侧设有与导磁组件（104）固定的导磁台（105），导磁台（105）的底板（1051）上开设腰型孔（1052），磁钢座（101）上对应腰型孔（1052）位置设有螺栓安装孔，导磁台（105）与磁钢座（101）通过穿过腰型孔（1052）和螺栓安装孔的螺栓固定连接，沿腰型孔（1052）方向调整所述导磁台（105）的位置，进而调整导磁组件（104）在平面磁场的位置。
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