深圳市大族半导体装备科技有限公司郑磊荣获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利旋转载台及加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222966110U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421823265.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型旋转载台及加工设备是由郑磊荣;许志杰;彭杰;李福海;尹建刚设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转载台及加工设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种旋转载台及加工设备，旋转载台包括基座、调平机构、旋转机构和安装座，旋转机构包括设于基座上的旋转组件以及旋转驱动组件，旋转组件包括转动部，旋转驱动组件用于驱动所述转动部转动。安装座设于转动部上，用于安装工件。调平机构包括相互间隔的多个调平件，调平件用于支撑基座，调平件远离基座的端部与基座的距离可调节，以控制旋转载台整体的水平度。即使采用精度稍低的旋转机构，也可利用调平机构来补偿水平度上的偏差，以降低设备成本。
本实用新型旋转载台及加工设备在权利要求书中公布了：1.一种旋转载台，其特征在于，包括：基座；调平机构，包括相互间隔的多个调平件，所述调平件用于支撑所述基座，所述调平件远离基座的端部与基座的距离可调节；旋转机构，包括设于所述基座上的旋转组件以及旋转驱动组件，所述旋转组件包括转动部，所述旋转驱动组件，用于驱动所述转动部转动；安装座，设于所述转动部上，用于安装工件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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